VASILIY PELENOVICH（瓦西里·帕里诺维奇）  副研究员

个人基本情况

姓名：瓦西里·帕里诺维奇（VASILIY PELENOVICH）   

出生年月：1981年3月18日       

国籍：乌兹别克斯坦

教育背景

乌兹别克斯坦科学院                  物理与数学          博士                              2007.01- 2012.01

    塔什干国立技术大学                  物理电子学          硕士                              2002.09- 2004.06

    塔什干国立技术大学                  电子与微电子学      学士                              1998.09- 2002.06

科研经历

纳米晶硬质涂层、压电涂层的研究                                                 2014.06 - 至今

● 采用阴极电弧离子镀设计制备纳米晶硬质涂层（AlTiN-MoN、TiSiN、TiBN-CrN、WC-a-C:H），基于高熵合金的太阳能选择性吸收材料，以及用于射频磁控溅射电-声应用的ZnO、AlScN基压电涂层材料

基于超声膨胀原理的气体团簇离子加速器自主设计与制造                             2014.09 - 2020.09

● 作为首席人员设计研制了一台气体团簇离子束加速器

● 包括设计团簇粒子源、超声膨胀器、电子碰撞电离装置、束流导引聚焦系统、法拉第杯-TOF质谱仪、四维旋转样品台、真空洁净室等

团簇离子束在材料表面改性方面的应用研究                                         2017.09 - 2020.09

● 离子束刻蚀（无掩模版）：团簇离子束倾斜辐照刻蚀平坦ZnO基片、ZnO纳米棒，刻蚀出了自组装纳米柱状阵列、微纳台阶结构

● 离子束刻蚀（有掩模版）：研究靶材的刻蚀特性（刻蚀深度、溅射率）、图形转移精确度，刻蚀出的图形截面平整、分辨率高

● 离子注入：B、Al团簇离子注入制备p-n超浅结，SIMS测量投影射程R_p分别为10nm、3-5nm，并与SRIM模拟进行了对比分析

● 无损平坦化（已用于对外服务）：离子束对光学部件、半导体表面进行超光洁处理，R_q降低至0.5-0.2nm，实现了材料的光学镜面指标

内转换电子穆斯堡尔谱设备的改进和研究                                           2011.09 - 2014.08

● 离子束辐照提高FeAs基超导体的临界电流密度（主持基金）

● 对稀土掺杂BiFeO₃薄膜、稀磁半导体InP:Fe、Bi₂Se₃、钠离子电池材料Fe₃S₄进行了系统的电子转换穆斯堡尔谱研究

工作经历

武汉大学（副研究员）                                                    2021.07- 至今

● 负责射频磁控溅射阴极离子镀设备的性能改进与优化，纳米晶硬质涂层、ZnO、AlScN基压电涂层材料的研究

● 气体团簇离子束设备改进与团簇离子在芯片离子注入、光学抛光等领域的应用研究

宜昌后皇真空科技有限公司、武汉新铬涂层设备有限公司（研发工程师）              2014.07- 2018.06                                      

● 作为首席人员负责团簇离抛光设备、芯片离子注入机的设计、研发及制造产业化

● 负责抛光工艺优化，为国内院校、公司提供抛光服务，制定实施抛光方案，数据处理分析

● 设计并改进团簇离子加速器的团簇源、超声喷嘴、法拉第杯-TOF质谱仪、四维旋转样品台等各个组件

华中师范大学（物理学博士后）                                                  2011.09- 2014.08

● 负责穆斯堡尔谱设备的改进和多种含铁材料的性能研究

● 穆斯堡尔谱测试已用于对外服务

乌兹别克斯坦科学院（初级研究员）                                              2004.09- 2011.08

● 教学：《半导体物理技术》课程，物理（霍尔效应）、光学实验课程

● 稀土氟化物基氟离子导体居里点光学性质的研究

● 稀土化合物（石榴石、氟化物）的光学、磁光和磁特性研究

● 补偿n、p型掺杂硅的电学、热学性质研究

所获荣誉

● 2019武汉大学首届创新创业峰会 教职工创新组专场 金奖（1/15）

● 2019湖北省教科文卫体系统第二届职工双创比赛“十佳创新奖”、金奖（2/70）

● 第八届（2019）中国创新创业大赛（湖北赛区）决赛“优秀企业”

● “2018光谷创业明星”称号

科学成就

15篇SCI论文（第一作者、通讯作者）

[1] V. Pelenovich, X. Zeng, B. Yang et al.,Vacuum 182 (2020) 109705.

[2] V. Pelenovich, X. M. Zeng, B. Yang, et al.Vacuum 176 (2020) 109096.

[3] V. Pelenovich, X.M. Zeng, B. Yang, et al.Mater. Lett. 264 (2020) 127356.

[4] V. Pelenovich, X. Zeng,, B.Yang,  Acta Physica Sinica (2021)

[5] V. Pelenovich, X. M. Zeng, B. Yang, D. J. Fu, et al. Nucl. Inst. Meth. B 450 (2019) 131-134.

[6] V. Pelenovich, X. M. Zeng, B. Yang, D. J. Fu, et al.J. Surf. Invest. X-ray, Synchrotron Neutron Techn. 13 (2019) 344-350.

[7] V. O. Pelenovich, U. V. Valiev, D.J. Fu, et al. Optical Materials 55 (2016) 115-120

[8] V. O. Pelenovich, R. Z. Xiao, D.J Fu, et al. Thin Solid Films 577 (2015) 119-123

[9] V. O. Pelenovich, Sh. U. Yuldashev, et al.Physica B 404 (2009) 5266-5268

[10] T. Sh. Alimov, U. V. Valiev, M. E. Malyshev, T. N. Khasanov, V. O. Pelenovich^*. Optical Materials 104 (2020) 109848 （通讯作者）

[11] X. M. Zeng, V. Pelenovich^*, D. J. Fu, et al.Acta Physica Sinica 9（2020）093601 （通讯作者）

[12] X. M. Zeng, V. Pelenovich^*, D. J. Fu, X. H. Xiao, et al.Beilstein Journal of Nanotechnology 11（2020）383–390. （通讯作者）

[13] X. M. Zeng, V. Pelenovich^*, D. J. Fu, X. H. Xiao, et al.Beilstein Journal of Nanotechnology 10（2019）135–143. （通讯作者）

[14] X. M. Zeng, V. Pelenovich^*, D. J. Fu, et al. Rapid Communications in Mass Spectrometry 33（2019）1449–1454. （通讯作者）

[15] W. Wang, V. O. Pelenovich^*, B. Yang, D. J. Fu. Vacuum 132 (2016) 31-39 （通讯作者）

4项授权专利、12项公布专利（第一发明人）

[1] 瓦西里·帕里诺维奇，曾晓梅，付德君， 一种用于产生团簇束的超音速喷嘴制造方法， ZL 201811492925.7（已授权）

[2] VASILIY PELENOVICH，曾晓梅，杨兵，一种获得固体材料表面孔洞直径可控范围广的团簇离子轰击法，2018 ZL 201811062321.9 （已授权）

[3] 瓦西里·帕里诺维奇，曾晓梅，付德君，一种气体团簇离子源产生方法及装置，ZL 201710664910.3 （已授权）

[4] 瓦西里·帕尼洛维奇，李娜，左文彬，付德君，粒子束激发真空紫外-可见光波段磁光谱测试方法及系统，ZL 201710572965.1 （已授权）

[5] 亚历山大，瓦西里·帕里诺维奇，曾晓梅，付德君，一种产生单电荷态的混合气体团簇离子束的方法和装置，ZL 201811165407.4 （已授权）

[6] 曾晓梅，瓦西里·帕里诺维奇，谢尔盖·别雷赫，一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法及离子源，ZL 2019 1 0047089.X （已授权）

科研项目

● Increase of critical current density of FeAs-based superconductors by ion beam irradiation（国家自然科学基金）（主持）

● 智能紧固件用传感器涂层及超声测量软件系统开发，国防横向项目，骨干成员；

● 高熵合金涂层制备，企业横向合作，骨干成员

● 超低能团簇离子注入制备基于氟化石墨烯的光忆阻型多比特存储器，国家自然科学基金，（主要成员）

● 团簇离子束纳米加工装置，（主要成员）

● 强流低能团簇离子束纳米加工技术合作研发，中俄国际合作项目，（主要成员）

教学与国际交流

● 大学物理、材料工程等相关课程的全英文教学

● 作为骨干人员参与国际交流合作。